環境の振動により、検査の精度が低下。発生源特定のため、振動計測を実施。

装置の周辺からは、問題となるような振動は検出されず。

装置自体に発生源があると推測。装置可動部から発生する振動を順番に計測。

検査精度に影響する振動の発生源が見つかり、 根本対策を実施。その結果、検査精度が回復。

製造ラインのレイアウトを変更したところ、ある装置だけ工程歩留りが低下。

設置環境の変化が原因と推測。振動形で環境計測を実施。

装置周辺の振動計測により、隣接装置された装置の振動が影響していることが判明。

歩留り低下した装置に防振対策を実施。歩留りが回復。

新しい製造装置を導入することになったが、設置場所が適切か分からない。

高層フロアへ設置したいが、装置の設置条件を満たせるのか不安。振動計を使って事前に環境計測を実施。

フロアごとの環境振動を計測し、装置の設置条件を満たしているか確認。

設置条件を満たせることを確認できたため、予定どおり装置を設置。その後、問題なく稼働。